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儀器名稱:
薄膜應力量測儀
所屬實驗室:
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所在地點:
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應用層面:
n/a
儀器名稱:
旋轉塗佈機 I. (Old Spin Coater)
所屬實驗室:
國立成功大學微奈米科技研究中心
所在地點:
國立成功大學微奈米科技研究中心
應用層面:
利用離心力將光阻均勻塗佈到試片
儀器名稱:
打線機 Wire Bonding
所屬實驗室:
國立成功大學微奈米科技研究中心
所在地點:
國立成功大學微奈米科技研究中心
應用層面:
以金或鋁線連接基板二點,或連接不同基板以導通電流
儀器名稱:
四點探針 Four point probe
所屬實驗室:
國立成功大學微奈米科技研究中心
所在地點:
國立成功大學微奈米科技研究中心
應用層面:
利用兩點電流,兩點電壓量測薄膜或矽晶圓之表面片電阻
儀器名稱:
光罩製造機 Mask Writer
所屬實驗室:
國立成功大學微奈米科技研究中心
所在地點:
國立成功大學微奈米科技研究中心
應用層面:
n/a
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