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  • 儀器
  • 儀器名稱:光罩製造機 Mask Writer
  • 所屬實驗室:國立成功大學微奈米科技研究中心
  • 所在地點:國立成功大學微奈米科技研究中心
  • 應用層面:.

  • 儀器
  • 儀器名稱:四點探針 Four point probe
  • 所屬實驗室:國立成功大學微奈米科技研究中心
  • 所在地點:國立成功大學微奈米科技研究中心
  • 應用層面:利用兩點電流,兩點電壓量測薄膜或矽晶圓之表面片電阻

  • 儀器
  • 儀器名稱:打線機 Wire Bonding
  • 所屬實驗室:國立成功大學微奈米科技研究中心
  • 所在地點:國立成功大學微奈米科技研究中心
  • 應用層面:以金或鋁線連接基板二點,或連接不同基板以導通電流

  • 儀器
  • 儀器名稱:旋轉塗佈機 I. (Old Spin Coater)
  • 所屬實驗室:國立成功大學微奈米科技研究中心
  • 所在地點:國立成功大學微奈米科技研究中心
  • 應用層面:利用離心力將光阻均勻塗佈到試片

  • 儀器
  • 儀器名稱:薄膜應力量測儀
  • 所屬實驗室:國立成功大學微奈米科技研究中心
  • 所在地點:國立成功大學微奈米科技研究中心
  • 應用層面:.
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